トリクロロシランのソースを表示

{{chembox
| ImageFile = Trichlorosilane-2D-stereo.png
| ImageSize = 120px
| ImageFileL1 = Trichlorosilane-3D-balls.png
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| ImageFileR1 = Trichlorosilane-3D-vdW.png
| ImageSizeR1 = 120px
| IUPACName = トリクロロシラン
| OtherNames = 
| Section1 = {{Chembox Identifiers
|   CASNo = 10025-78-2
|    CASNo_Ref = {{cascite}}
|   PubChem =
|   SMILES = [H][Si](Cl)(Cl)Cl
|   EINECS = 233-042-5
|   RTECS = VV5950000
|   UNNumber = 1295
  }}
| Section2 = {{Chembox Properties
|   Formula = HCl<sub>3</sub>Si
|   MolarMass = 135.45 g/mol
|   Appearance = 無色液体
|   Density = 1.342 kg/m<sup>3</sup>
|   MeltingPt = -126.6 ℃
|   BoilingPt = 31.8 ℃
|   Solubility = 水と反応
  }}
| Section3 = {{Chembox Hazards
| ExternalMSDS = [https://www.ilo.org/dyn/icsc/showcard.display?p_lang=ja&p_card_id=0591&p_version=2 ICSC 0591]
| NFPA-H = 3
| NFPA-F = 4
| NFPA-R = 2
| NFPA-O = W
| RPhrases = {{R12}}, {{R14}}, {{R17}}, {{R20/22}}, {{R29}}, {{R35}}
| SPhrases = {{S2}}, {{S7/9}}, {{S16}}, {{S26}}, {{S36/37/39}}, {{S43}}, {{S45}}
| FlashPt = -27 ℃
| Autoignition = 185 ℃
| ExploLimits = 1.2–90.5%
| PEL = 
  }}
}}

'''トリクロロシラン'''（{{lang-en-short|trichlorosilane}}）は、[[ケイ素]]、[[塩素]]、[[水素]]から成る[[無機化合物]]で、[[分子式]]は HSiCl<sub>3</sub> と表される。高温で[[熱分解]]を起こして単体ケイ素に変わる性質から、[[半導体]]工業において高純度ケイ素の主原料として利用される<ref name="iwasaki">{{Cite journal |和書|author =岩崎史哲|author2=小田開行|title =トリクロロシラン|date =2001|publisher =有機合成化学協会|journal =[[有機合成化学協会誌]]|volume =59|issue =10|doi=10.5059/yukigoseikyokaishi.59.1005|pages =1005-1007|ref = }}</ref>。水と触れると速やかに分解して[[シリコーン]]のポリマーおよび[[塩化水素]]となる<ref name="iwasaki"/>。反応性が高く入手が容易であることから、[[有機ケイ素化合物]]の原料ともされる<ref name="iwasaki"/>。

== 製造 ==
工業的には、トリクロロシランは[[塩化水素]]のガスを 300 ℃ でケイ素の粉末に吹き付けて製造する<ref name="iwasaki"/>。下式のように、トリクロロシランとともに水素が生じる<ref name="iwasaki"/>。

:<math>\rm Si + 3 HCl \longrightarrow HSiCl_3 + H_2</math>

適切に設計された反応装置では、80-90% の収率でトリクロロシランが得られる。主な副生物は[[四塩化ケイ素]] (SiCl<sub>4</sub>)、[[六塩化二ケイ素]] (Si<sub>2</sub>Cl<sub>6</sub>)、[[ジクロロシラン]] (H<sub>2</sub>SiCl<sub>2</sub>) であり、トリクロロシランは蒸留により取り出される。この逆反応により高純度の単体ケイ素が得られる。

== 用途 ==
上記のように、トリクロロシランは高純度の多結晶ケイ素の原料とされる<ref name="iwasaki"/>。

== 出典 ==
{{脚注ヘルプ}}
{{Reflist}}
* {{Cite web |format=PDF|url=http://www.dowcorning.com/content/publishedlit/01-4012-01.pdf|title=An Introductory Guide to the Safe Handling of Chlorosilanes|publisher=Dow Corning|accessdate=2017-07-22}}
* [https://web.archive.org/web/20100529170115/http://www.osha.gov/SLTC/semiconductors/substratemfg/polysiliconprod.html Semiconductors: Silicon: Substrate Manufacture: Polycrystalline Silicon Production]（2010年5月29日時点の[[インターネットアーカイブ|アーカイブ]]）<!--英語版の出典-->

{{デフォルトソート:とりくろろしらん}}
[[Category:シラン]]
[[Category:塩化物]]
[[Category:無機化合物]]