振動型ジャイロスコープのソースを表示

'''振動型ジャイロスコープ'''（しんどうがたジャイロスコープ、{{lang-en-short|vibrating structure gyroscope}} : VSG、'''振動ジャイロ'''）は、[[振動]]により[[角速度]]を検出する[[ジャイロスコープ]]。振動する物体が回転している場合、その回転軸に垂直な平面上で振動に対して垂直な力が発生することが物理的な基本原理となっている。振動子が回転している時に生じる[[コリオリの力]]を利用するため、工学文献では'''コリオリ振動ジャイロ''' ({{Lang|en|coriolis vibratory gyro : CVG}}) とも呼ばれる。

振動型ジャイロスコープは、従来の[[ジャイロスコープ#回転型|回転型ジャイロスコープ]]に比べ、同程度の精度をより単純に、より安価に実現可能である。この原理を使って小型化されたデバイスとして、比較的安価なタイプの[[姿勢指示器]]がある。

なお、[[昆虫]]の[[平均棍]]も振動により角速度を検出していると考えられている。

==動作原理==
[[ファイル:CoriolisForce2.png|right|200px|thumb|[[コリオリの力]]]]
===コリオリの力===
角速度<math>\boldsymbol{\Omega}</math>で回転する基準系から、速度<math>\boldsymbol{v}</math>で動作する質量<math>m</math>の物体を観測するとき、
:<math>\mathbf{F}_C = - 2 m \, \boldsymbol{\Omega} \times \mathbf{v}</math>
で表わされるコリオリの力がみかけ上はたらく。この時、コリオリの力<math>\boldsymbol{F}_C</math>は角速度ベクトル<math>\boldsymbol{\Omega}</math>と反対方向にはたらき、反時計回りの場合は進行方向から90度右向きとなる。

===プルーフマスの動作===
[[ファイル:CoriolisForce on ProofMass.svg|right|200px|thumb|プルーフマス上での動作]]
平面上で周波数<math>\scriptstyle\omega_r</math>で振動する2つの'''プルーフマス'''（{{Lang|en|proof mass}}、試験質量）について考える。

角速度 <math>\scriptstyle\Omega</math> で回転する基準系からみて速度 <math>\scriptstyle v</math> で動作するプルーフマスには、コリオリ力 <math>\scriptstyle \boldsymbol F_c = -2m(\boldsymbol v\times\boldsymbol \Omega)</math> がはたらく。プルーフマス面に沿う位置座標成分が <math>x_p = \scriptstyle X_{ip} \sin(\omega_r t)</math> の場合、プルーフマス面に沿う速度成分は <math>\dot{x_p} = \scriptstyle X_{ip} \omega_r \cos(\omega_r t)</math> となる。

回転によって発生するプルーフマス面と直行する方向の位置座標 <math>\scriptstyle y_{op}</math> は、
:<math>y_{op} = \frac{F_c}{k_{op}} = \frac{2m\Omega X_{ip} \omega_r \cos(\omega_r t)}{k_{op}}</math>
で与えられる。ここで、
:<math>\scriptstyle m</math> はプルーフマスの[[質量]]
:<math>\scriptstyle k_{op}</math> はプルーフマス面に直行する方向に定義される[[バネ定数]]
:<math>\scriptstyle\Omega</math> は角速度ベクトルのプルーフマス面と直行する成分の大きさ
を示す。したがって、<math>\scriptstyle m, k_{op}, X_{ip}, \omega_r</math>が既知ならば、プルーフマス面と直行する方向の振幅成分を計測することにより<math>\scriptstyle\Omega</math>を知ることができる。

===ビーム型やシェル型構造の場合===
ビーム（beam、梁）やシェル（shell、殻）のような[[線対称]]性をもつ薄型構造の応用例では、コリオリの力は回転軸に関する振動パターンの[[歳差運動]]を発生する。このようなシェルに関しては、入力の軸（回転軸）とは異なる軸で発生する[[角速度]]の軸にある[[定在波]]より遅い[[歳差運動|歳差]]を引き起こす。これは、1890年にイギリスの科学者{{仮リンク|ジョージ・ハートレイ・ブライアン|en|George H. Bryan}} (1864-1928)によって発見されたいわゆる「波の慣性効果」<ref>Bryan G.H. "On the Beats in the Vibrations of a Revolving Cylinder or Bell", Proc. of Cambridge Phil. Soc. 1890, Nov. 24. Vol.VII. Pt.III. - P.101-111.</ref>である。

==実装方法==
===製造方法===
====MEMSジャイロスコープ====
多くの振動型ジャイロスコープは[[MEMS]]技術で製造されるようになり、均一の性能と品質が安価で実現し広く利用可能になった。（2010年4月現在、大量購入時の価格は、3軸ジャイロが1サンプルあたり約3ドル以下<ref name="edresearch">[http://edrllc.jp/mtb/1004/039.html 「ST、電源マネージメント機能を持つ3軸デジタル・ジャイロ・センサを発表」, EDリサーチ 2010年4月8日]</ref>、1軸ジャイロは1ドル台<ref name="nikkan">[http://www.nikkan.co.jp/newrls/rls1113su-02.html 「STマイクロエレクトロニクス、角速度検知を実現する新しいジャイロ・センサを発表」 日刊 Bussiness Line 2009年11月13日] {{webarchive|url=https://web.archive.org/web/20160304191605/http://www.nikkan.co.jp/newrls/rls1113su-02.html |date=2016年3月4日 }}</ref>である。）これらは、他の[[集積回路]]と同時に[[PLCC|パッケージ]]され、アナログ出力あるいはデジタル出力を提供する。多くの場合、一つのデバイス内部に複数の軸のジャイロセンサを含み、いくつかのデバイスはジャイロスコープと[[加速度計]]の両方を1パッケージ化し完全な[[6DoF|6自由度]]の出力を有する<ref name="techon_mpu6k">[https://xtech.nikkei.com/dm/article/NEWS/20101109/187271/?ST=print 「InvenSenseが3軸加速度センサと3軸ジャイロ・センサを1パッケージ化」 TechOn 2010年11月9日]</ref>。基本的に、MEMSジャイロスコープとは[[フォトリソグラフィ]]技術を使用して構成された後述のような[[音叉]]型、振動ホイール型など様々な形状の[[調和振動子|振動子]]を持った[[角速度センサ]]のことを指す<ref>Bernstein, Jonathan. [http://www.sensorsmag.com/sensors/acceleration-vibration/an-overview-mems-inertial-sensing-technology-970 "An Overview of MEMS Inertial Sensing Technology"], ''Sensors Weekly'', February 1, 2003.</ref>。

===構造の種類===
振動部分の構造は以下のようなものがある。
*[[音叉]]型
*音片 (横振動細棒、ビーム) 型
*リング型
*プレート型

====音叉型ジャイロスコープ====
音叉型ジャイロスコープは、共振して動作する1組の試験質量（[[音叉]]）を振動させ、その振動面からのずれを検出し[[角速度]]信号を作り出す。

F.W.Meredithは、音叉型ジャイロの特許を[[ロイヤル・エアクラフト・エスタブリッシュメント]] (RAE) で働いている間の1942年に登録した。その後、RAEのG.H.HuntとA.E.W.Hobbsによって1950年代後半まで開発が続けられ、Hobbsは 1&nbsp;°/h（3.6×10<sup>-4</sup>&nbsp;°/s）以下のドリフトをデモした<ref>Collinson, R.P.G. Introduction to Avionics, Second edition, Kluwer Academic Publishers: Netherlands, 2003, p.235</ref>。

近代の戦闘機用ジャイロは、[[サフラングループ]](フランス)の[[:fr:Sagem Defense Securite|SAGEM Defence Securite]]製などの二音叉型を使用している<ref>QuapasonTM {{Cite web|和書|url=http://www.sagem-ds.com/fra/site.php?spage=02010306 |title=アーカイブされたコピー |accessdate=2007-10-16 |archiveurl=https://web.archive.org/web/20071016120420/http://www.sagem-ds.com/fra/site.php?spage=02010306 |archivedate=2007-10-16 |url-status=dead|url-status-date=2017-10 }}</ref>。6脚構造をとることにより、[[光ファイバジャイロスコープ|ファイバオプティックジャイロ]]に匹敵する性能を出すことができる<ref>[http://www.jae.co.jp/gihou/gihou30/pdf/g_09.pdf 航空電子技報 No.30 - 振動ジャイロの開発]</ref>。

====音片（ビーム）型====
円柱、四角柱あるいは三角柱を振動させ、[[コリオリの力]]を検出する。

==== ワイングラス型共振器 ({{Lang|en|wine glass resonator}}) ====
半球型共振ジャイロ（{{Lang|en|Hemispherical Resonator Gyro：HRG}}）とも呼ばれるワイングラス型共振器は、半球型に回転するよう駆動され、その節点で回転を測定する。{{仮リンク|ジョージ・ハートレイ・ブライアン|en|George H. Bryan}}が基本的な物理現象を発見してから約1世紀後に、[http://www.irconnect.com/noc/press/pages/news_releases.html?d=54590 デヴィッドD.リンチ博士ら]が[[ゼネラルモーターズ|GM]]グループの[[デルコ・エレクトロニクス]]社や[[:en:Litton Industries|リットン社]]・[https://web.archive.org/web/20110312004316/http://www.es.northropgrumman.com/solutions/hrg/ ノースロップグラマン社]（米国カリフォルニア州）の宇宙船打ち上げ部門にHRGを開発し、特許を取得した<ref>Lynch D.D. HRG Development at Delco, Litton, and Northrop Grumman ''//Proceedings of Anniversary Workshop on Solid-State Gyroscopy (19-21 May, 2008. Yalta, Ukraine). - Kyiv-Kharkiv. ATS of Ukraine. 2009.'' ISBN 978-976-0-25248-5.</ref>。ワイングラス型には2種類のシステム構成方法がある。1種はレート制御に基づいたもの、もう1種は積分制御に基づいたものであり、通常は制御パラメータによる励振と組み合わせて構成される。同一のハードウエア上でこれら両方の手法を使うことが可能であり、この種のジャイロの特有の特徴となっている<ref>Sarapuloff S.A. 15 Years of Solid-State Gyrodynamics Development in the USSR and Ukraine: Results and Perspectives of Applied Theory ''//Proc. of the National Technical Meeting of Institute of Navigation (Santa Monica, Calif., USA. January 14-16,1997). ? P.151-164.''</ref>。

====振動ホイール型ジャイロスコープ ({{Lang|en|Vibrating wheel gyroscope}})====
ホイールが軸の周りで完全に回転させ、ホイールの傾斜を測定することによって[[角速度]]に関する信号を作り出す<ref name="hsg-imit RnD">{{Cite web | url=http://www.hsg-imit.de/index.php?id=41&L=1 | title=Inertial Sensors - Angular Rate Sensors | accessdate=2009-05-28 | url-status=dead|url-status-date=2017-10 | archiveurl=https://web.archive.org/web/20090417155202/http://www.hsg-imit.de/index.php?id=41&L=1 | archivedate=2009-04-17 }}</ref>。

===駆動方式===
[[振動]]部分を[[励振]]させる方式は次のように分類できる。
*[[静電引力]]
*[[逆圧電効果]]
*[[電磁力]]

====静電力によるアクチュエータ====
[[ファイル:ElectrostaticActuator.png|right|200px|thumb|平行平板の電極に発生する力<ref name="CAcar_AShkel"/>]]
平行平板間に電圧を印加すると[[静電引力]]が生じる現象を利用して可動部を振動させることができる。

2枚の平行な電極面の距離がy軸方向で可変な場合、電圧<math>V</math>によって発生するy軸方向の力<math>F_y</math>は、
:<math>F_y = \frac{1}{2} \frac{\partial C}{\partial y} V^2 = - \frac{1}{2} \frac{\varepsilon_0 z_0 x_0}{(y_0 + y)^2} V^2</math>
となり、電極間の距離<math>y_0 + y</math>の二乗に反比例する<ref name="CAcar_AShkel">"MEMS Vibratory Gyroscopes" page.113-117, Cenk Acar & Andrei Shkel, Springer 2009, ISBN 978-0-387-09535-6</ref><ref>[http://www.ric.titech.ac.jp/saneken/actuator.htm 「積層型静電アクチュエータ」 東京工業大 実吉研]</ref>。

2枚の平行な電極面の距離は一定で、電極が横（x軸方向）に移動することによって電極の面積が可変となる場合、電圧<math>V</math>によって発生するx軸方向の力<math>F_x</math>は、
:<math>F_x = \frac{1}{2} \frac{\partial C}{\partial x} V^2 = \frac{1}{2} \frac{\partial (x_0 - x)}{\partial x} \frac{\varepsilon_0 z_0}{y_0} V^2 = - \frac{1}{2} \frac{\varepsilon_0 z_0}{y_0} V^2</math>
となり、<math>x</math>に依存しない<ref name="CAcar_AShkel"/>。

====逆圧電効果によるアクチュエータ====
[[水晶]]やPZT（[[チタン酸ジルコン酸鉛]]）といった[[圧電素子]]に電圧を印加して振動させる場合、[[逆圧電効果]]によって生じる変形量は最大0.1%程度<ref>「はじめてのMEMS」江刺著 p.133 ISBN 978-4-627-78491-8</ref>と小さいため、金属板と圧電材料板を重ねた[[ユニモルフ構造]]、あるいは圧電材料板を組み合わせた[[バイモルフ構造]]をとり、「反り」を利用して変位を拡大させる。

===検出方式===
[[角速度]]の検出方式は以下のように分類できる。
*静電容量型 - [[櫛]]型に並べられた[[電極]]間の[[静電容量]]を検出する
*圧電型 - [[圧電効果]] (piezoelectric effect) によって発生した[[電荷]]を検出する
*ピエゾ型 - [[ピエゾ抵抗効果]]による[[電気抵抗|抵抗]]の変化を検知する
*電磁型 - [[磁束]]を横切る回路に発生する[[電磁誘導|誘起起電力]]によって検出する
*光学式

====静電容量変化の検出====
2枚の平行な電極面の距離が<math>y</math>だけ移動する（ただし移動距離<math>y</math>は初期の電極間距離<math>d</math>より十分小さい）場合、変化する静電容量<math>\Delta C</math>は、
:<math>\Delta C = \varepsilon_0 \frac{tL}{d-y} - \varepsilon_0 \frac{tL}{d} \approx \varepsilon_0 \frac{tL}{d^2} y</math>
となる<ref name="CAcar_AShkel_CapDet">"MEMS Vibratory Gyroscopes" page.117-120, Cenk Acar & Andrei Shkel, Springer 2009, ISBN 978-0-387-09535-6</ref>。

2枚の平行な電極面の距離<math>d</math>は一定で、電極が横に<math>x</math>だけ移動する場合、変化する静電容量<math>\Delta C</math>は、
:<math>\Delta C = \varepsilon_0 \frac{t(L+x)}{d} - \varepsilon_0 \frac{tL}{d} = \varepsilon_0 \frac{t}{d} x</math>
となる<ref name="CAcar_AShkel_CapDet"/>。

これらの静電容量の変化は、電極間に<math>V_{DC}</math>の電圧が印加することによって、
:<math>i_s = \frac{d}{dt}[V_{DC} C_{sense}(t)] = V_{DC} \frac{\partial C_{sense}}{\partial x} \dot{x}</math>
として電流に変換できる<ref name="CapToCurrent">"MEMS Vibratory Gyroscopes" page.127, Cenk Acar & Andrei Shkel, Springer 2009, ISBN 978-0-387-09535-6</ref>。

====圧電型ジャイロスコープ====
[[圧電効果|圧電性]]の物質は振動を発生させることができ、さらに、[[コリオリの力]]によって発生した横移動を測定し[[角速度]]を示す信号を生成可能である<ref name="NEC ceramic">{{Cite web|和書| url=http://www.nec-tokin.com/english/product/piezodevice2/ceramicgyro.html | title=NECトーキンのセラミック圧電ジャイロ| accessdate=2009-05-28}}</ref>。

== 性能の評価 ==
性能評価方法についてはIEEE Std 1431-2004<ref>IEEE Std 1431-2004 「IEEE Standard Specification Format Guide and Test Procedure for Goriolis Vibratory Gyros」</ref>に概要があり、重要な仕様や定義についてはIEEE Std 528-2001<!--<ref>[http://standards.ieee.org/findstds/standard/528-2001.html IEEE Std 528-2001 「IEEE Standard for Inertial Sensor Terminology」]</ref>--><ref>IEEE Std 528-2001 「IEEE Standard for Inertial Sensor Terminology」</ref>に記載されている。

=== 検出範囲 ===
[[飽和]]せずに検出できる[[角速度]]の範囲を °/s（＝dps<ref name="nikkan"/><ref>[https://dc.watch.impress.co.jp/docs/news/393511.html 「エプソントヨコム、水晶ジャイロセンサーの技術説明会を開催」デジカメWatch 2010年10月18日]</ref>）あるいは rad/s で示す<ref>C.Acar & A.Shkel著「MEMS Vibratory Gyroscopes」9ページ, ISBN 978-0-387-09535-6</ref>。センサが破損しない最大の[[角速度]]を表すためにも重要な指標となる<ref>IEEE Std 1431-2004 - 5.3.1 Input rate limits</ref>。[[ジャイロスコープ|角速度センサ]]の仕様としては一般的に'''[[フルスケール]]'''として定められる<ref name="edresearch" /><ref>[http://www.switch-science.com/products/detail.php?product_id=152 スイッチサイエンス IDG500搭載二軸ジャイロモジュール(最大±500°/秒)] {{webarchive|url=https://web.archive.org/web/20101218184105/http://www.switch-science.com/products/detail.php?product_id=152 |date=2010年12月18日 }}</ref><ref>[http://www.businesswire.com/news/home/20101108005828/ja/ BusinessWire SD742・SD740発表 November 08, 2010]</ref>。

=== 感度 ===
[[角速度]]（°/s）が何Vの出力となるかの倍率を V/(°/s), mV/(°/s) あるいは (°/s)/Vで示す<ref>IEEE Std 1431-2004 - 5.3.2 Gyro scale factor</ref>。[[デジタル]]で[[角速度]]情報が出力される場合は、 LSB/(°/s) あるい (°/s)/LSB はとなる。

感度の性能評価としては、非[[線型性|線形性]]誤差、非[[対称性]]誤差、繰り返し誤差、安定性、[[ヒステリシス]]などがある<ref>IEEE Std 1431-2004 - 5.3.2.1 Gyro scale factor errors</ref><ref name="epsontoyocom">[http://www.epsontoyocom.co.jp/gyroportal/gyropoint.html エプソントヨコムのジャイロセンサの特長] {{webarchive|url=https://web.archive.org/web/20110308060419/http://www.epsontoyocom.co.jp/gyroportal/gyropoint.html |date=2011年3月8日 }}</ref>。周囲環境からの[[:en:Sensitivity (electronics)|感受性]]としては、[[温度]]特性や[[加速度]]による感度の変化などがある<ref>IEEE Std 1431-2004 - 5.3.2.2 Gyro scale factor sensitivities</ref><ref name="epsontoyocom"/>。

===ドリフトとノイズ===
'''バイアス'''<ref>IEEE Std 1431-2004 - 5.3.3 Drift rate, D</ref>（'''ゼロ点'''<ref>[http://www.sssj.co.jp/cgi-bin/ja/usr/index.cgi?c=faq シリコンセンシング FAQ] {{webarchive|url=https://web.archive.org/web/20131214050535/http://sssj.co.jp/cgi-bin/ja/usr/index.cgi?c=faq |date=2013年12月14日 }}</ref><ref name="epsontoyocom"/>ともいう）は、[[積分]]して[[角度]]を算出する場合（積分ジャイロ）に重要となる。バイアスの変化（＝'''ドリフト'''）は、評価条件などの変化によって[[角速度]]が無入力の状態で出力がどれだけ変化したかを測定し、 °/s あるいは °/h で示す。

ランダムドリフト<ref>IEEE Std 1431-2004 - 5.3.3.2 Random drift rate, D<sub>R</sub></ref>は'''{{仮リンク|アランバリアンス|en|Allan variance}}'''（センサ出力の時間積分値を積分時間で割った値）を測定することによって求められる。1秒の時点から'''アングル[[ランダムウォーク]]'''（Angle Random Walk＝[[ホワイトノイズ]]）が得られ、[[極小値]]から'''バイアス安定性'''<ref>[http://www.xbow.jp/inertial.html Crossbow 慣性センサ用語集]</ref>（Bias Instability＝[[1/fゆらぎ]]）が求まる<ref>[http://www.sssj.co.jp/en/products/gyro/pdf/catalog%20ver.2.pdf シリコンリングジャイロ製品案内 page.10] {{webarchive|url=https://web.archive.org/web/20110428051323/http://www.sssj.co.jp/en/products/gyro/pdf/catalog%20ver.2.pdf |date=2011年4月28日 }}</ref><ref>IEEE Std 647-2006 - Annex C. An overview of the Allan variance method of RLG noise analysis</ref><ref>IEEE Std 952-1997 - Annex C. An overview of the Allan variance methodk of IFOG noise analysis</ref>。

市販されているジャイロセンサの[[ノイズ]]の仕様は、'''角速度ノイズ密度''' (Rate Noise Density) で示され、単位は °/s/√Hz となる。

=== 周波数帯域 ===
一般的なジャイロスコープの仕様では、検出可能な[[角速度]]の入力周波数を[[カットオフ周波数]]で示されている。

==応用分野==
===宇宙船の姿勢制御===
[[ファイル:Cassini-huygens anim.gif|thumb|200px|[[カッシーニ (探査機)|カッシーニ＝ホイヘンス土星探査機]]]]
[[カッシーニ (探査機)|カッシーニ＝ホイヘンス (Cassini-Huygens)]]<ref>[http://www2.jpl.nasa.gov/basics/bsf11-2.html NASA資料 - Basic of Space Flight]</ref>などの宇宙船は、位置決めのために振動型ジャイロスコープ内で振動を起こし制御している。これらの[[石英ガラス]]で作られたこれらの小さい[https://web.archive.org/web/20110525232610/http://www.es.northropgrumman.com/solutions/hrg/index.html 半球型振動ジャイロスコープ（Hemispherical Resonator Gyroscopes：HRG）][http://www.northropgrumman.com/Capabilities/HRG/Documents/hrg.pdf The Hemispherical Resonator Gyro: From Wineglass to the Planets]は、真空中で作動する。高純度の単結晶[[サファイア]]で作られた[http://www.stcu.int/documents/reports/distribution/tpf/MATERIALS/Sapphire_Gyro_Sarapuloff_ATSU.pdf シリンダ共振ジャイロスコープ（Cylindrical Resonator Gyroscopes：CRG）]<ref>Sarapuloff S.A. High-Q Sapphire Resonator of Solid-State Gyroscope CRG-1 http://www.stcu.int/documents/reports/distribution/tpf/MATERIALS/Sapphire_Gyro_Sarapuloff_ATSU.pdf</ref> <ref> Sarapuloff S. A., Lytvynov L.A., ''et al''. Particularities of Designs and Fabrication Technology of High-Q Sapphire Resonators of CRG-1 Type Solid-State Gyroscopes ''//XIV-th International Conference on Integrated Navigation Systems (28-30 May 2007. St.-Petersburg, RF.). ? St.-Petersburg. The State Research Center of Russia - Central Scientific & Research Institute "ElektroPribor". RF. 2007. ? P.47-48.''</ref>のプロトタイプもある。これらは宇宙船の正確な3軸の位置決めを行い、可動部がない場合は数年間高い信頼性を保つ。

===自動車===
自動車の[[ヨーイング|ヨー軸]]センサは、ほぼ振動型ジャイロスコープで構成されている。[[ヨーイング|ヨー軸]]のエラー状態は、[[横滑り防止装置]]でハンドルの舵角センサと[[オドメーター]]から予測される車体の角速度と比べるために使用される<ref>{{Cite web | url=http://dl3.interlake.net/shared/wm/M225693_20071211_153047/ESPerience/uk/the_falling_box.wmv | title=The Falling Box (Video) | accessdate=2010-07-01 | url-status=dead|url-status-date=2017-10 | archiveurl=https://web.archive.org/web/20110723155042/http://dl3.interlake.net/shared/wm/M225693_20071211_153047/ESPerience/uk/the_falling_box.wmv | archivedate=2011-07-23 }}</ref>。ロールオーバー（横転検知）システムでは別の振動型ジャイロによって転倒時の角速度を検知し、サイド[[エアバッグ]]を動作させる。

[[カーナビゲーションシステム]]にも車の向きを検出するために振動型ジャイロセンサが多く用いられる。

===エンタテイメント===
任天堂[[ゲームボーイアドバンス]]用のゲーム「[[まわるメイドインワリオ]]」は、回転運動を検出するのに圧電性のジャイロスコープを使用している。ソニー[[DUALSHOCK#SIXAXIS|SIXAXIS]] [[PlayStation 3|PS3]]コントローラは、6番目の軸（ヨー軸）を測定するのに単一のMEMSジャイロスコープを採用している。

任天堂Wiiモーションプラスは、複数軸の[[MEMS]]ジャイロスコープを使用して[[Wiiリモコン]]の動作検知能力を強化する<ref name="Wii MoPlus">{{Cite press release|title=InvenSense IDG-600 Motion Sensing Solution Showcased In Nintendo's New Wii MotionPlus Accessory|publisher=InvenSense|date=15 July 2008|url=http://www.invensense.com/news/071508.html|format=|language=|accessdate=2009-05-28|archiveurl=https://web.archive.org/web/20090417021633/http://invensense.com/news/071508.html|archivedate=2009年4月17日}}</ref>。[[ゲーム機]]では他にも[[ニンテンドー3DS]]がジャイロの機能があり、[[iPhone 4]]や[[Nexus S]]といった[[スマートフォン]]もジャイロが搭載されている機種がある。

===写真撮影===
[[ファイル:ISComparison.png|right|200px|thumb|キーパッドの接近写真による[[手ぶれ補正機構]]の有無の比較]]
[[ビデオカメラ]]や[[デジタルスチルカメラ]]に搭載された多くの[[手ぶれ補正機構]]は振動型ジャイロスコープを採用している。[[一眼レフカメラ]]の[[レンズ]]内に組み込まれている手ぶれ補正機構には2つの軸のジャイロセンサが用いられる<ref>[http://www.canon.co.jp/imaging/lens/technology/index3.html Canon in-lense image stabilizers ― for easy photography without blur caused by camera shake]</ref>。

===趣味===
振動型ジャイロスコープは、[[無線操縦ヘリコプター]]の尾部回転翼を制御するために使用されたり、[[ラジコン模型航空機]]（とりわけ{{仮リンク|円盤投げグライダー|en|Discus Launch Glider|label=円盤投げグライダー (Discus Launch Glider : DLG)}}）の後部や翼を離陸および飛行時に安定に保つために使用される。

===その他===
[[ファイル:Segway 01.JPG|thumb|200px|[[セグウェイ]]HT]]
[[セグウェイ]]は安定性を維持するために振動型ジャイロスコープを採用している<ref name=MEMSGyroComp>{{Cite web | url=http://www.invensense.com/mems/gyro/documents/whitepapers/MEMSGyroComp.pdf | title=A Critical Review of MEMS Gyroscopes Technology and Commercialization Status | author=Steven Nasiri | accessdate=2010-07-01 | url-status=dead|url-status-date=2017-10 | archiveurl=https://web.archive.org/web/20101206122853/http://invensense.com/mems/gyro/documents/whitepapers/MEMSGyroComp.pdf | archivedate=2010-12-06 }}</ref>。

{{clear}}
==参考文献==
{{Reflist|2}}

== 関連項目 ==
*[[角速度]]
*[[歳差]]
*[[ジャイロスコープ]]

==外部リンク==
* Proceedings of Anniversary Workshop on Solid-State Gyroscopy (19-21 May, 2008. Yalta, Ukraine). - Kyiv-Kharkiv. ATS of Ukraine. 2009. - ISBN 978-976-0-25248-5. ''See also the next meetings at'': International Workshops on Solid-State Gyroscopy [http://www.facebook.com/pages/International-Workshops-on-Solid-State-Gyroscopy/135430619833718].
* Apostolyuk V. [http://www.astrise.com/research/library/memsgyro.pdf Theory and Design of Micromechanical Vibratory Gyroscopes]
* Prandi L. , Antonello R., Oboe R., and Biganzoli F. Automatic Mode-Matching in MEMS Vibrating Gyroscopes Using Extremum Seeking Control ''//IEEE Transactions on Industrial Electronics. 2009. Vol.56. - P.3880-3891.''. [http://automatica.dei.unipd.it/publications.html?autore=autore&condizione=228&testo=UHVibGljYXRpb25zIG9mIGF1dGhvciBSb2JlcnRvIE9ib2U=]
* Prandi L., Antonello R., Oboe R., Caminada C., and Biganzoli F. Open-Loop Compensation of the Quadrature Error in MEMS Vibrating Gyroscopes ''//Proceedings of 35th Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society - IECON-2009. 2009.'' [http://automatica.dei.unipd.it/publications.html?autore=autore&condizione=228&testo=UHVibGljYXRpb25zIG9mIGF1dGhvciBSb2JlcnRvIE9ib2U=]

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