電子移動度

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電子移動度(でんしいどうど、electron mobility)とは、固体の物質中での電子の移動のしやすさを示す量である。易動度ともいう[1]

単に移動度という場合は、キャリアの移動のしやすさを示す。半導体の場合、キャリアとは、電子および正孔のことである。

定義

物質に電場 E (kg·m/s2·C)をかけたとき、物質内部のキャリアが電場によって平均速度 v (m/s)で移動したとする。このとき、この物質の移動度 μ (C·s/kg)は次式で定義される。

𝑣=μ𝐸

キャリアの電荷q (C)、電子の有効質量m* (kg)、電子の緩和時間τ (s)とすると、移動度は次式で算出される。

μqτ/m*

半導体工学における移動度の意味

移動度は、抵抗率に反比例する。すなわち、抵抗率を ρ (kg·m3/C2·s)、キャリア密度n (1/m3)とすれば、

qnμρ=1

このため、移動度は物質の電気的特性を決める重要なパラメーターである。

脚注

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